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ドライポンプは接ガス部にオイルを用いない真空ポンプである。内部の機構全てがオイルフリーなわけではない。半導体製造など、油汚染を嫌う場合に多く使われる。 真空ポンプの分類として、ウエットポンプに対比する用語。 == ドライポンプの種類 == * ルーツ型ドライポンプ * クロー型ドライポンプ * スクリュー型ドライポンプ * サイドチャンネル型ドライポンプ * スクロール型ドライポンプ * ベーン型ドライポンプ * ドライロータリーベーンポンプ 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)』 ■ウィキペディアで「ドライポンプ」の詳細全文を読む スポンサード リンク
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