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真空用材料（しんくうようざいりょう）は、真空装置の真空チャンバーや真空部品などを構成する材料である。通常の機械用材料と違う点は、真空中での放出ガスが少なく、放出ガスの成分がある程度判別されていることである。 また、真空装置でもCVD装置など半導体プロセスに使用される場合には、プロセスに使用されるガスに対する耐性なども検討し採用する必要がある。 == 金属材料 == 真空用材料には多様な金属材料が使用されており、使用目的は様々である。 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』 ■ウィキペディアで「真空用材料」の詳細全文を読む スポンサード リンク
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