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scanning electron microscope =========================== ・ 走査 ： [そうさ] (n,vs) scanning (e.g., TV) ・ 電子 ： [でんし] 【名詞】 1. (1) electron 2. (2) (esp. as a prefix) electronic 3. electronics ・ 電子顕微鏡 ： [でんしけんびきょう] (n) electron microscope ・ 子 ： [こ, ね] (n) first sign of Chinese zodiac (The Rat, 11p.m.-1a.m., north, November) ・ 顕微 ： [けんび] (adj-na,n) microscopic ・ 顕微鏡 ： [けんびきょう] 【名詞】 1. microscope
走査型電子顕微鏡（そうさがたでんしけんびきょう、Scanning Electron Microscope、SEM）は電子顕微鏡の一種である。電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子（後方散乱電子、BSE）、透過電子、X線、カソードルミネッセンス（蛍光）、内部起電力等を検出する事で対象を観察する。通常は二次電子像が利用される。透過電子を利用したものはSTEM（）と呼ばれる。 TEMでは主にサンプルの内部、SEMでは主にサンプル表面の構造を微細に観察する。 == 原理 == 透過型のように試料全体に電子線を当てるのではなく、走査型では細い電子線で試料を走査（scan）し、電子線を当てた座標の情報から像を構築して表示する。観察試料は高真空中（10-3Pa以上）に置かれ、この表面を電界や磁界で絞った電子線（焦点直径1-100nm程度）で走査する。走査は直線的だが、走査軸を順次ずらしていくことで試料表面全体の情報を得る。 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』 ■ウィキペディアで「走査型電子顕微鏡」の詳細全文を読む 英語版ウィキペディアに対照対訳語「 Scanning electron microscope 」があります。 スポンサード リンク
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