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エレクトロマイグレーション : ウィキペディア日本語版 | エレクトロマイグレーション エレクトロマイグレーション()とは、電気伝導体の中で移動する電子と金属原子の間で運動量の交換が行われるために、イオンが徐々に移動することで材質の形状に欠損が生じる現象である。その効果は電流密度が高い場合に大きくなる。集積回路が微細化するにつれて、その影響が無視できなくなりつつある。 同種の用語にエレクトロケミカルマイグレーション(イオンマイグレーション)があるが、こちらは電気化学的マイグレーションという点で本項と異なる。
== 歴史 == エレクトロマイグレーションは100年以上前から知られた現象であり、フランスの科学者 Gerardin が発見した。実用的な意味で注目されるようになったのは、1966年、集積回路が初めて製品化されたころからである。この分野の研究はジェームズ・R・ブラックが確立し、「ブラックの方程式」に名を残している。当時、集積回路内の金属配線は約10マイクロメートル程度の幅だった。現在は数百から数十ナノメートルになっており、エレクトロマイグレーションの研究は重要性を増している。
抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)』 ■ウィキペディアで「エレクトロマイグレーション」の詳細全文を読む
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