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クリーンルーム : ウィキペディア日本語版
クリーンルーム[くりーんるーむ]

クリーンルームclean room , CR)とは、空気清浄度が確保された部屋のことである。
JIS Z 8122では、
: コンタミネーションコントロールが行われている限られた空間であって、空気中における浮遊微小粒子、浮遊微生物が限定されて清浄度レベル以下に管理され、また、その空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清浄度が保持され、必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理が行われている空間
と定義されている。
== 用途 ==

=== 工業用クリーンルーム ===

電子工業用途で半導体集積回路液晶パネルプラズマパネルマイクロマシンなどの製造工場においては必須となっている。これは集積回路の焼付け工程において、塵埃が隣接する回路との短絡、あるいは欠損を引き起こし不良が発生するため、清浄空間での作業が必要とされるからである。他に精密機械などの製造工場がクリーンルームとなっていることがある。このような工業品の製造工程で用いられるクリーンルームを工業用クリーンルーム(, ICR)という。

抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)
ウィキペディアで「クリーンルーム」の詳細全文を読む



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