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トリメチルシラン : ウィキペディア日本語版
トリメチルシラン
トリメチルシラン
(trimethylsilane) または
トリメチルシリルヒドリド
(trimethylsilyl hydride) は、
化学式
がC
3
H
10
Si、
構造式
が(CH
3
)
3
SiHで表される
化合物
である。
引火性
が非常に大きい。プラズマ相のエッチング液として
半導体
工業で用いられる。
==出典==
抄文引用元・出典: フリー百科事典『
ウィキペディア(Wikipedia)
』
■
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の詳細全文を読む
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