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トリメチルシラン : ウィキペディア日本語版
トリメチルシラン

トリメチルシラン (trimethylsilane) またはトリメチルシリルヒドリド (trimethylsilyl hydride) は、化学式がC3H10Si、構造式が(CH3)3SiHで表される化合物である。引火性が非常に大きい。プラズマ相のエッチング液として半導体工業で用いられる。
==出典==


抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)
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