翻訳と辞書 Words near each other ・ フッ化物添加法 ・ フッ化物添加食塩 ・ フッ化物溶液歯面塗布 ・ フッ化物滴剤 ・ フッ化物点滴剤 ・ フッ化物配合歯磨剤 ・ フッ化物錠 ・ フッ化物錠剤 ・ フッ化白金(VI) ・ フッ化硫黄 ・ フッ化窒素 ・ フッ化第一スズ ・ フッ化臭素 ・ フッ化酸素 ・ フッ化重水素レーザー ・ フッ化金 ・ フッ化金(III) ・ フッ化鉛 ・ フッ化銀 ・ フッ化銀(I) Dictionary Lists mini英和辞書 mini和英辞書 Webster 1913 Latin-English FOLDOC Wikipedia English ウィキペディア

翻訳と辞書　辞書検索 [ 開発暫定版 ] スポンサード リンク フッ化窒素 ： ウィキペディア日本語版 三フッ化窒素[さんふっかちっそ] 三フッ化窒素（さんフッかちっそ）は化学式 NF3で表される無機化合物。この窒素-フッ素化合物は無色、有毒、無臭、不燃性、助燃性の気体である。半導体化学でエッチング液として使われるため、使用は増加傾向にある。 ==用途== 三フッ化窒素はシリコンウェハーのに使われる。特に液晶ディスプレイやシリコンベースの太陽電池フィルム用のプラズマCVD処理室の洗浄に使われる。このガスが分解してできるフッ素のラジカルがや窒化ケイ素や二酸化ケイ素と反応して分解させる。三フッ化窒素はケイ化タングステン（、WSi2）と一緒に化学気相成長させて、タングステンを作るのにも使われる。NF3は当初、や六フッ化硫黄のようなパーフルオロカーボンと比べて環境に与える悪影響が少ないと考えられていた 。近年フッ素ガスが、三フッ化窒素よりも環境への負荷が小さい代替品として、フラットパネルや太陽電池の量産工程用として導入されている。 三フッ化窒素は取り扱いの容易さと安定性から、化学レーザーの一種であるフッ化水素レーザーに用いられる。 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』 ■ウィキペディアで「三フッ化窒素」の詳細全文を読む 英語版ウィキペディアに対照対訳語「 Nitrogen trifluoride 」があります。 スポンサード リンク 翻訳と辞書 : 翻訳のためのインターネットリソース Copyright(C) kotoba.ne.jp 1997-2016. All Rights Reserved.