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リークテストは、真空装置のリーク(漏れ)を確認するためのテストである。真空で言うリーク(漏れ)とは真空チャンバーの微小な穴、シール不良などによる想定外の外部からの気体の流入を指し、チャンバー壁の放出ガスや真空フランジのシール、窓などの透過するガスについてはリークとは区別される。リークテストは微小な穴などの検知を行なうものであるため、圧力容器や溶接の漏れ探しでも同様の方法をとられることが多い。 リークは真空装置の種類によってもその許容値が異なるため、リークテストの方法もその許容値によって異なる。しかし近年ではその取り扱いとリーク検知の簡便さ、感度からヘリウムリーク法が使用されることが多い。 == リークテストの種類 == 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)』 ■ウィキペディアで「リークテスト」の詳細全文を読む スポンサード リンク
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