|
真空バルブ(しんくうバルブ)は、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種である。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければならない。また、その構成材料は殆どの場合真空用材料によって構成されている。 == 真空バルブの種類 == 真空バルブは気体(分子や原子)の遮断するものとコントロールするものと2つに分類される。 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)』 ■ウィキペディアで「真空バルブ」の詳細全文を読む スポンサード リンク
|