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真空ポンプ[しんくうぽんぷ]
真空ポンプ（しんくうポンプ、バキュームポンプ、vacuum pump ）とは、容器内から気体を排出し、真空を得るためのポンプである。1650年にドイツのオットー・フォン・ゲーリケにより発明された。1台で超高真空から大気圧までをカバーするのは非常に困難な為、多くは粗引きポンプやメインポンプなどと組み合わせで使うが、用途によって1台で済む場合は粗引き、メインなどの呼び分けはしない。
== 構成 ==
真空ポンプは以下の3つにより構成される。
* 吸気口：気体を吸入する部分である。真空チャンバーなどに接続するため真空フランジが用いられることが多い。真空ポンプの主要スペックである排気速度は単位時間当たりの吸気口を通過した気体の量とJISに決められている。
* 排気口：真空ポンプ内部に入れられた気体は排気口より排出される。真空ポンプによってはこの排気口の圧力も大気以下でないと作動しないポンプもある。また、気体溜め込み式ポンプは内部に気体を溜め込むため排気口は存在しない。しかし無限に蓄えられるわけではないため別に真空ポンプを用意し定期的に吸気口より排気しなければならない。
* ポンプ：各ポンプ作用を起こす部分。これらはそれぞれの真空ポンプの種類により大きく異なる。
抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』
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