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窒化タンタル : ウィキペディア日本語版
窒化タンタル
窒化タンタル
(Tantalum nitride)は、
タンタル
の
窒化物
である。
銅
やその他の導電性金属の間のバリアや「糊」の層、また熱酸化物等の誘電絶縁体フィルムの製造に使われることがある。これらのフィルムは、
集積回路
の製造の際に、
薄膜
抵抗器
等として、
シリコンウェハー
の上に沈着される。
==出典==
抄文引用元・出典: フリー百科事典『
ウィキペディア(Wikipedia)
』
■
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の詳細全文を読む
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