|
薄膜（はくまく）とは薄い膜のこと。分野によって定義が異なる。 # 表面物理学での''薄膜''(Thin film)は、試料基板上に蒸着やスパッタリング等の手法を使って作られる、数～数十層からなる原子層のこと。 # ソフトマターでの薄膜は、両親媒性分子を参照。 以下の項目は1の薄膜についての記述となっている。 ==製造方法== 薄膜は、PVD（Physical Vapor Deposition:物理気相成長法：スパッタリング、蒸着など）、CVD（Chemical Vapor Deposition:化学気相成長法）とエピタキシャル成長を利用したエピタキシーなどがある。1番目と2番目は主に光学薄膜の製造に利用され、3番目は主に半導体薄膜に利用されている。 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』 ■ウィキペディアで「薄膜」の詳細全文を読む スポンサード リンク
|