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Trimethylsilane : ウィキペディア英語版 | Trimethylsilane
}} Trimethylsilane or trimethylsilyl hydride, is a compound with the formula C3H10Si, or with the structural formula (CH3)3SiH. It is very flammable. Trimethylsilane is used in the semi-conductor industry as an etchant in the plasma phase. ==See also==
* Dimethylsilane * Trimethylsilyl functional group
抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)』 ■ウィキペディアで「Trimethylsilane」の詳細全文を読む
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