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Trimethylsilane : ウィキペディア英語版
Trimethylsilane

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Trimethylsilane or trimethylsilyl hydride, is a compound with the formula C3H10Si, or with the structural formula (CH3)3SiH. It is very flammable. Trimethylsilane is used in the semi-conductor industry as an etchant in the plasma phase.
==See also==

* Dimethylsilane
* Trimethylsilyl functional group

抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)
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