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エネルギー分散型X線分析 (Energy dispersive X-ray spectrometry) は、広義の意味として、電子線やX線などの一次線を物体に照射した際に発生する特性X線もしくは蛍光X線を半導体検出器などのようなエネルギー分散型検出器にて検出し、そのエネルギーと強度から、物体を構成する元素と濃度を調べる元素分析手法である〔蛍光X線分析法（XRF） 波長分散型とエネルギー分散型の違い 〕。一般的に、電子線を一次線として用いた場合を指すことが多く、X線を一次線として用いる場合をエネルギー分散型蛍光X線分析 (ED-XRF) として呼ぶ。ちなみに、一次線が荷電粒子の場合は、粒子線励起X線分析法 (PIXE: Particle Induced X-ray Emission) と呼ぶ。 この分析法は、広エネルギー範囲を測定することができるため、同時に、多くの元素を分析する際に有効である。元素の検出下限は、高分解能である波長分散型X線分析 (WDS: wavelength dispersive X-ray spectrometry) に比べると悪い〔WDS - 波長分散型X線分析装置 〕。しかしながら、WDSは検出するエネルギー領域が狭いため特定の元素しか分析できないことや、検出器の取り付けなどの制限を受けることがある。高精度かつ全元素を分析を行いたい場合に、EDSとWDSを併用して用いる場合がある。 == 分析概要 == === 分析元素範囲 === 一次線の種類や装置等によって大きく異なる。エネルギー分散型Ｘ線検出器では、Be（ベリリウム）～U（ウラン）が検出可能であるが、実質的に分析が可能なのは、B（ホウ素）～U（ウラン）である。 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』 ■ウィキペディアで「エネルギー分散型X線分析」の詳細全文を読む スポンサード リンク
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