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===================================== 〔語彙分解〕的な部分一致の検索結果は以下の通りです。 ・ ー ： [ちょうおん] (n) long vowel mark (usually only used in katakana) ・ ポンプ ： [ぽんぷ] 【名詞】 1. pump 2. (n) pump
クライオポンプは、真空ポンプの一つ。気体分子を極低温面に凝縮させて捕捉する、気体ため込み式真空ポンプである。ここでは、ソープションポンプの機能を付加したクライオソープションポンプについても言及する。 == 概要 == クライオポンプは、ため込み式真空ポンプの一つである。真空容器内に極低温面を設置することで、その表面に残留気体を凝縮させ捕捉する。真空容器内で動作する装置が無く、また油を利用しないオイルフリー（ドライポンプ）であるため、クリーンな真空が得られる。動作範囲は、10 - 10-8 Paと広い。 ヘリウム、水素、ネオンの蒸気圧が高い気体を除き、ほとんどの気体に対しての大きな排気速度（1000 - 10000 L/s）を持ち、特に他のポンプに比べて水蒸気の排気速度が大きい。 欠点は、 * 極低温面を作り出すのに時間がかかるため、電源を入れてから使用可能になるまで1～数時間は待たねばならないこと * 冷媒を圧縮するコンプレッサ（冷凍機）から大きな音が出ること * 定期的にため込まれた気体を放出させ、ポンプを再生させる必要があること 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』 ■ウィキペディアで「クライオポンプ」の詳細全文を読む 英語版ウィキペディアに対照対訳語「 Cryopump 」があります。 スポンサード リンク
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