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ケルビンプローブフォース顕微鏡(ケルビンプローブフォースけんびきょう、Kelvin probe Force Microscopy:KFM)は、原子間力顕微鏡 (AFM) を元に開発された顕微鏡の一種。 == 特徴 == 試料の表面形状とポテンシャル像を同時に得ることができるため、デバイス表面物性の評価に有用である。この際、取得されるポテンシャル像は、使用するカンチレバーの仕事関数との差が電位像として取得される。このKFMは大気中のものと真空中で利用されるものがある。現在、超高真空中にて原子分解能程度まで高感度に観察された例が報告されている。イギリスのケルビンが接触電位差として短針と試料との電位差が得られることを発見した事が名前の由来となっている。 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)』 ■ウィキペディアで「ケルビンプローブフォース顕微鏡」の詳細全文を読む スポンサード リンク
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