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===================================== 〔語彙分解〕的な部分一致の検索結果は以下の通りです。 ・ ー : [ちょうおん] (n) long vowel mark (usually only used in katakana)
サーフェイスマイクロマシニングは、MEMS(マイクロマシン)作製技術の一つ。 薄膜(数μm程度)を加工してMEMSデバイスを作製する技術の総称。 集積回路作製技術に犠牲層エッチングを付加したもの。 #成膜 #リソグラフィ #エッチング の繰り返しでデバイスを作製する。 == 関連項目 == *バルクマイクロマシニング *エッチング さあふえいすまいくろましんく 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)』 ■ウィキペディアで「サーフェイスマイクロマシニング」の詳細全文を読む スポンサード リンク
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