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シリコンウエーハ : ミニ英和和英辞書
シリコンウエーハ[ちょうおん]
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〔語彙分解〕的な部分一致の検索結果は以下の通りです。

: [ちょうおん]
 (n) long vowel mark (usually only used in katakana)

シリコンウエーハ ( リダイレクト:シリコンウェハー ) : ウィキペディア日本語版
シリコンウェハー[ちょうおん]
シリコンウェハーまたはシリコンウェーハ () は、高純度な珪素(シリコン)のウェハーである。
== 概要 ==

珪素のインゴットを厚さ1mm程度に切断したものであり、インゴットの直径は150mm(6インチ)、200mm(8インチ)、300mm(12インチ)のものがMOSデバイス用には一般的に使用されるが、ダイオード等のチップサイズの小さなものには未だに100mm(4インチ)、125mm(5インチ)のものも使われている。
基本的にチップサイズの大きなMPUや大量に生産してコストを低減する必要のあるメモリDRAMフラッシュメモリ)には大口径のウェーハが使用され、300mm化の進展も著しい。
集積回路 (IC/LSI)の製造に最も多く使用される。このウェーハにアクセプターやドナーとなる不純物導入や絶縁膜形成、配線形成をすることにより半導体素子を形成することができる。
半導体デバイス用シリコンウェーハとしては、鏡面加工したPolished Wafer(PW)が使われるが、その内容を細かく見るとPWの中でも結晶欠陥COP(Crystal Originated Particle)の密度によっていくつかの水準に分けられるほか、Epitaxial Wafer(エピウェーハ)、Anneal Wafer(アニールウェーハ)などいくつかのバリエーションがあり、コスト、特性を勘案してデバイス製造に用いられている。

抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)
ウィキペディアで「シリコンウェハー」の詳細全文を読む




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