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ノボラック : ミニ英和和英辞書
ノボラック
novolac
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ノボラック : ウィキペディア日本語版
ノボラック

ノボラック(novolak)は反応物質の縮合によって得られるホルムアルデヒド-フェノール比が1:1より小さいフェノール樹脂である。ノボラックはであり、ホルムアルデヒドドナーであるヘキサメチレンテトラミンといった添加剤(架橋剤)によって硬化させることができる。これによって不溶融性のが得られる。
ジアゾナフトキノンといった光感受性物質と組み合わせることにより、フォトリソグラフィ工程で使用されるフォトレジストとしてマイクロエレクトロニクスマイクロマシン分野で使用されている。露光されなかった部分のノボラックが表面に残り、次の工程(イオン注入、金属のガルバニック成長、、エッチング等)から回路基盤を保護する。
ノボラックは回路基盤のスピンコートでも使用され、厚みは除去段階で数十ミクロンまで薄くされる。より厚い層にはアクリル樹脂 (PMMA) が推奨される。
==外部リンク==

* Douglas R. Robello: ''The Chemistry of Photoresists .'' In: ''Chem 421: Introduction to Polymer Chemistry.'' 2002, abgerufen am 21. Mai 2010.
*Heinrich Kirchauer: ''Composition of DQN Resist .'' Institute for Microelectronics, TU Wien, 17. April 1997, abgerufen am 21. Mai 2010.


抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)
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