|
===================================== 〔語彙分解〕的な部分一致の検索結果は以下の通りです。 ・ フッ化 : [ふっか] (n) fluoridation ・ 化 : [か] (suf) action of making something ・ 窒素 : [ちっそ] 【名詞】 1. nitrogen (N) ・ 素 : [もと] 1. (n,n-suf,n-t) (1) origin 2. basis 3. foundation
三フッ化窒素(さんフッかちっそ)は化学式 NF3で表される無機化合物。この窒素-フッ素化合物は無色、有毒、無臭、不燃性、助燃性の気体である。半導体化学でエッチング液として使われるため、使用は増加傾向にある。 ==用途== 三フッ化窒素はシリコンウェハーのに使われる。特に液晶ディスプレイやシリコンベースの太陽電池フィルム用のプラズマCVD処理室の洗浄に使われる。このガスが分解してできるフッ素のラジカルがや窒化ケイ素や二酸化ケイ素と反応して分解させる。三フッ化窒素はケイ化タングステン(、WSi2)と一緒に化学気相成長させて、タングステンを作るのにも使われる。NF3は当初、や六フッ化硫黄のようなパーフルオロカーボンと比べて環境に与える悪影響が少ないと考えられていた 。近年フッ素ガスが、三フッ化窒素よりも環境への負荷が小さい代替品として、フラットパネルや太陽電池の量産工程用として導入されている。 三フッ化窒素は取り扱いの容易さと安定性から、化学レーザーの一種であるフッ化水素レーザーに用いられる。 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)』 ■ウィキペディアで「三フッ化窒素」の詳細全文を読む 英語版ウィキペディアに対照対訳語「 Nitrogen trifluoride 」があります。 スポンサード リンク
|