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レジスト : よみがなを同じくする語

Resist
レジスト : ウィキペディア日本語版
レジスト[れじすと]

レジストとは、主に工業用途で使用される、物理的、化学的処理に対する保護膜、及びその形成に使用される物質である。
諸般の製造プロセス内で、サンドブラストイオン注入エッチングなどの処理を施す際、被処理物表面の一部を樹脂などで保護し、処理をしたあとに保護膜を剥離することで、被処理物の所望の部分のみを処理することができる。この手法に使われる保護膜をレジストという。処理に耐える(resist)事からこの名がついた。
用途や塗り分け(パターニング)方法で幾種類かに分類される。
==フォトレジスト (パターニング方法による分類)==
感光性を持ち、フォトリソグラフィ工程で使用されるレジスト。大量生産される製品に使用されるレジストは、ほとんどがフォトレジストである。一般的な使用方法としては、スピンコーターやスリットコーター等で薄膜状に塗布し、光や電子線を部分的に照射して溶解性を変化させ、その後現像によって不要な部分を除去する。製版プリント基板半導体ウェハーなどの製造に使用される。

抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)
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