翻訳と辞書 Words near each other ・ 反応器 ・ 反応型 ・ 反応域(値) ・ 反応定数 ・ 反応室 ・ 反応工学 ・ 反応度 (原子力) ・ 反応度係数 ・ 反応座標 ・ 反応式 ・ 反応性イオンエッチング ・ 反応性スパッタ法 ・ 反応性充血 ・ 反応性処理剤 ・ 反応性愛着障害 ・ 反応性抑うつ ・ 反応性指数 ・ 反応性散乱 ・ 反応性衝突 ・ 反応性骨膜性骨新生 Dictionary Lists mini英和辞書 mini和英辞書 Webster 1913 Latin-English FOLDOC Wikipedia English ウィキペディア

翻訳と辞書　辞書検索 [ 開発暫定版 ] スポンサード リンク 反応性イオンエッチング ： ミニ英和和英辞書 反応性イオンエッチング[はんのうせいいおんえっちんぐ] ===================================== 〔語彙分解〕的な部分一致の検索結果は以下の通りです。 ・ 反 ： [はん, たん] 　 1. (n,vs,n-pref) anti-　2. opposite　3. antithesis　4. antagonism　 ・ 反応 ： [はんのう] 　 1. (n,vs) reaction　2. response　 反応性イオンエッチング ： ウィキペディア日本語版 反応性イオンエッチング[はんのうせいいおんえっちんぐ] 反応性イオンエッチング (Reactive Ion Etching; RIE) はドライエッチングに分類される微細加工技術の一つである。 原理としては、反応室内でエッチングガスに電磁波などを与えプラズマ化し、同時に試料を置く陰極に高周波電圧を印加する。すると試料とプラズマの間に自己バイアス電位が生じ、プラズマ中のイオン種やラジカル種が試料方向に加速されて衝突する。その際、イオンによるスパッタリングと、エッチングガスの化学反応が同時に起こり、微細加工に適した高い精度でのエッチングが行える。 通常のドライエッチングと違い、異方性エッチングも出来ることが特徴である。 == プラズマ発生法による分類 == * 容量結合型(平行平板型)(CCP-RIE:Capacitive Coupled Plasma-RIE) * 誘導結合型(ICP-RIE:Inductive Coupled Plasma-RIE) * ECR-RIE(Electron Cyclotron Resonance-RIE) 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』 ■ウィキペディアで「反応性イオンエッチング」の詳細全文を読む スポンサード リンク 翻訳と辞書 : 翻訳のためのインターネットリソース Copyright(C) kotoba.ne.jp 1997-2016. All Rights Reserved.