|
===================================== 〔語彙分解〕的な部分一致の検索結果は以下の通りです。 ・ 大気 ： [たいき] 【名詞】1. atmosphere , air ・ 大気圧 ： [たいきあつ] (n) atmospheric pressure ・ 気 ： [げ, き] 1. (suf) (uk) seeming 2. giving the appearance of 3. giving one the feeling of ・ 気圧 ： [きあつ] 【名詞】1. atmospheric pressure, barometric pressure
大気圧プラズマ（たいきあつプラズマ）とは、大気圧下で発生させたプラズマのことで、対義としては低圧プラズマ（真空プラズマ）がある。 一般的に、プラズマは発生させるときの圧力が低いほど低電圧で済み、平均自由行程が長く、プラズマを制御しやすいといった傾向がある。 代わりに、低圧プラズマはプラズマ密度が低いため反応性が悪く、処理ごとに真空引きを行う必要がある。 大気圧プラズマは、連続処理に向いているため生産性が高く、真空装置が不要であるため処理コストが低く、簡単な装置構成で済むといった特徴がある。 大気圧プラズマは、コロナ放電、誘電体バリア放電、RF放電、マイクロ波放電、アーク放電といった方法で発生でき、ArやHeといったガスで発生させ易くできる。 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』 ■ウィキペディアで「大気圧プラズマ」の詳細全文を読む スポンサード リンク
|