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===================================== 〔語彙分解〕的な部分一致の検索結果は以下の通りです。 ・ 自己 ： [じこ] 【名詞】 1. self 2. oneself ・ 己 ： [き, つちのと] 【名詞】 1. 6th in rank 2. sixth sign of the Chinese calendar ・ 整合 ： [せいごう] 1. (n,vs) adjustment 2. coordination 3. integration 4. conformity ・ 合 ： [ごう] 【名詞】 1. go (approx. 0.18l or 0.33m)
自己整合（じこせいごう、）とは、例えば半導体等の集積回路作製プロセスにおいて、既に形成されたパターンを次のプロセスのマスクとして利用し、マスクの位置合わせ無しで次のプロセスを進めることである。 また、最初のパターンあるいは形状が最終的な素子のパターンあるいは形状を決定する場合も自己整合と呼ぶ。 自己組織化 (Self-assembly) とは異なる。 == 関連項目 == * 薄膜トランジスタ category:半導体 抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア（Wikipedia）』 ■ウィキペディアで「自己整合」の詳細全文を読む スポンサード リンク
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